展品范围

一、真空技术与设备展区
真空获得设备：各类型真空泵：旋片泵、油扩散泵、低温泵、分子泵等；
真空应用设备：真空冶金、热处理设备；真空冷冻、干燥、包装设备等；
真空镀膜设备：光学镀膜、离子镀膜、蒸发、溅射镀膜设备及相关配套产品等；
真空零部件及检测检漏仪器：阀门、管件、测量/校准仪器、检测/检漏仪器、真空泵油等；

二.真空镀膜及超导薄膜展区：
镀膜材料：靶材、各种膜材、镀膜蒸发料、各类涂层；
超薄膜类：高低温超导薄膜、功能薄膜；
镀膜设备：真空镀膜机、光学镀膜机、离子束沉积设备、离子源、镀膜测试与监控设备；
其他：镀膜材料生产加工设备、各类薄膜检测仪器；

三.真空技术及半导体应用展区：
超高清技术、低温真空泵、低温制冷机、超导磁体、真空半导体阀门、半导体材料、半导体设备、半导体分立器件产品与应用技术、半导体光电器件、集成电路终端产品；